[发明专利]一种用于硅锭切割的线锯装置在审
| 申请号： | 202110750020.0 | 申请日： | 2021-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN113263647A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 戴初燕 | 申请（专利权）人： | 戴初燕 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02;B28D7/04;B24B27/06;B24B41/06;B24B55/00;B24B55/06 |
| 代理公司： | 深圳知帮办专利代理有限公司 44682 | 代理人： | 刘瑞芳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及芯片制造技术领域，且公开了一种用于硅锭切割的线锯装置，包括箱体，箱体的顶部开设有套接槽，套接槽的底部固定安装有行程仓，通过支撑座的轴线L1位于挤压弧形杆的轴线L2的上方，使得硅锭在放置在支撑装置顶部的时候，由于硅锭呈圆柱形并且圆形的位置与支撑座的轴线L1重合，此时硅锭自身的重力将挤压弧形杆推开从而使得挤压弧形杆能够将放置在支撑座放上的硅锭进行夹紧，避免了加工时硅锭出现沿自身轴线方向滑动的问题，此外，通过挤压弧形杆的夹紧作用，使得当切割器沿切割槽将硅锭切割成片后，相互独立的挤压弧形杆能够分别对各个硅片进行夹紧，避免其发生侧倾，同时方便了切割后操作人员对硅片的回收，提高了该装置的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 切割 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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