[发明专利]一种耐辐照石英玻璃的制备方法及制备用坩埚和料架有效
| 申请号： | 202110752145.7 | 申请日： | 2021-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN113415978B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 高运周;李建均;黄远坤;王正帅 | 申请（专利权）人： | 四川神光石英科技有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C03C3/06;C03B5/16 |
| 代理公司： | 成都欣圣知识产权代理有限公司 51292 | 代理人： | 胡小亮 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种耐辐照石英玻璃的制备方法及制备用坩埚和料架,目的是解决现有石英玻璃无法经受激光的多频次长周期照射而出现损伤破坏的技术问题。耐辐照石英玻璃的制备方法，包括如下步骤：S1，槽沉锭料预处理；S2，调节槽沉炉内至微正压氢气氛围，槽沉锭料置于槽沉炉内高温摊铺成摊成光学石英玻璃毛坯，同步预氢化处理；S3，维持炉内微正压氢气氛围，将光学石英玻璃毛坯随炉降温至一定温度；S4，增大氢气供给，提高炉内压力至一定压力后，对光学石英玻璃毛坯进行保温保压氢化处理；S5，维持氢气氛围，光学石英玻璃毛坯随炉慢降温，开炉得到成品。本发明提升了材料内部氢分子浓度，有效提高石英玻璃材料的耐辐照性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辐照 石英玻璃 制备 方法 坩埚 | ||
【主权项】：
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