[发明专利]用于光耦合的MEMS开关在审
| 申请号： | 202110754227.5 | 申请日： | 2021-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN113885126A | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 王宁;C·皮特斯;S·Y·余;T·罗茨尼克;G·亚玛;T·J·舒尔茨;U·克里希纳穆尔西 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 郭美琪;刘春元 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于光耦合的MEMS开关。一种光开关包括：由基板支撑的总线波导、沿着平面定向的光学天线、沿着线经由弹簧与基板耦合的光学天线、与耦合波导相邻悬挂的反应电极、以及由基板支撑的致动电极。当致动电极与反应电极之间的相反极性电压差小于下阈值时，该平面与基板的角度大于10度，并且当致动电极与反应电极之间的相反极性电压差大于上阈值时，该平面与基板平行。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 耦合 mems 开关 | ||
【主权项】：
暂无信息
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