[发明专利]环境温度补偿方法、对位装置以及直写成像光刻设备在审
| 申请号： | 202110755389.0 | 申请日： | 2021-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN113467194A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 范继辉;蔡文涛;邱田生 | 申请（专利权）人： | 东莞市多普光电设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 | 代理人： | 郝文博 |
| 地址： | 523850 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种对位装置的环境温度补偿方法，所述对位装置包括相机、标定尺、固定标定尺的平台，所述环境温度补偿方法包括：S101：在环境温度下，将标定尺上的第一识别标记与相机视野中心对准，获得平台的第一位置；S102：将标定尺上的第二识别标记与相机视野中心对准，获得平台的第二位置；S103：根据平台的第一位置和第二位置，确定第一识别标记和第二识别标记的距离；S104：改变环境温度，确定不同环境温度下第一识别标记和第二识别标记的距离；S105：基于多个环境温度下第一识别标记和第二识别标记的距离，获得温度补偿值与环境温度的关系。采用本发明的技术方案，可减少因环境温度变化造成的曝光精度误差，提高曝光精度，减少曝光不良率的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 环境温度 补偿 方法 对位 装置 以及 成像 光刻 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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