[发明专利]位置测量装置及测量方法

摘要

实施方式提供一种对衬底上形成的电路图案的位置进行测量的位置测量装置及测量方法。实施方式的位置测量装置具备衬底保持部、投影部、液体供给部、位置测定部、摄像部、位置测定部及控制部。衬底保持部能够保持包含电路图案的至少一部分的衬底。投影部对保持在衬底保持部的衬底照射照明光，使照射到衬底的照明光的来自衬底的反射光透过。液体供给部能够向保持在衬底保持部的衬底与投影部之间的空间供给液体。摄像部供透过投影部的反射光入射，产生基于反射光的图像信号。位置测定部获取与衬底保持部的位置相关的位置信息。控制部基于位置信息及图像信号，决定衬底内的至少一部分电路图案的坐标位置。