[发明专利]一种钽靶材组件的焊接方法在审
| 申请号： | 202110758427.8 | 申请日： | 2021-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN113458523A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;廖培君;华东瑜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K1/00 | 分类号： | B23K1/00;B23K1/20;F16B11/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种钽靶材组件的焊接方法，所述焊接方法包括如下步骤：对钽靶材的焊接面进行喷砂处理，之后对所述钽靶材的焊接面进行镀锡膜处理；对背板的焊接面进行镀铜膜处理，之后将镀锡膜的钽靶材和镀铜膜的背板进行加热处理，之后将混合金属粉分别设置于钽靶材的焊接面和背板的焊接面，然后进行浸润处理；在浸润处理后的背板上设置铜丝，之后将设置铜丝后背板的焊接面和钽靶材的焊接面进行装配并加压冷却，得到所述钽靶材组件。通过采用镀膜工艺并结合特定的混合金属粉进行焊接，实现了对钽靶材组件的焊接结合强度的提升，且焊接后靶材的使用寿命延长20‑30％，将焊接后的靶材组件用溅射时，溅射过程中所得镀膜的厚度均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钽靶材 组件 焊接 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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