[发明专利]一种环保高效有机场效应晶体管的制备方法

摘要

本发明属于有机电子器件领域，具体为一种环保高效有机场效应晶体管的制备方法。本发明利用旋涂和真空热蒸镀等工艺按照栅极/介电层、有机半导体薄膜/源漏电极的基本结构组装器件后，进一步通过冷却浴快速淬冷，改善半导体薄膜的凝聚态结构，减小分子堆积距离，有效提升有机场效应晶体管器件的载流子迁移率和开态电流。本发明方法对有机小分子或聚合物半导体均能产生有益效果，具有普适性。同时快速淬冷的过程环保高效，避免高温长时间的退火过程，大大加快了制备进度，降低成本和耗能，有利于大面积多批量的生产制备。