[发明专利]一种半导体用十级擦拭布净化清洗工艺有效
申请号: | 202110759926.9 | 申请日: | 2021-07-06 |
公开(公告)号: | CN113492118B | 公开(公告)日: | 2022-11-11 |
发明(设计)人: | 黄香;傅建喜 | 申请(专利权)人: | 苏州净雅无尘科技有限公司 |
主分类号: | B08B1/00 | 分类号: | B08B1/00;B08B3/02;B08B3/14;B08B13/00 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 施欣 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体用十级擦拭布净化清洗工艺,具体涉及十级擦拭布净化清洗工艺技术领域,包括清洗箱,所述清洗箱一侧设置有两组调节清洗机构,两组所述调节清洗机构之间设置有刷动机构;所述调节清洗机构包括设置在所述清洗箱一侧的支撑块,本发明通过设置刷动机构、调节清洗机构,实现上刷板和下刷板的来回刷动,这样可以提高刷动效率速度更快,去除杂质效果更好,操作简单,易于使用,有效降低了清洁成本,实用性更好,更加贴合十级擦拭布的上下两侧面,增加刷动摩擦力,提高十级擦拭布在清洗过程中绷紧程度,适用于不同厚度的十级擦拭布的清洗操作,提高了清洗适用性。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 用十级 擦拭 净化 清洗 工艺 | ||
【主权项】:
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