[发明专利]一种具有超导特性的无限层型镍酸盐薄膜的制备方法有效
申请号: | 202110759951.7 | 申请日: | 2021-07-06 |
公开(公告)号: | CN113481602B | 公开(公告)日: | 2023-09-22 |
发明(设计)人: | 乔梁;丁翔;徐明辉;冷华倩 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | C30B29/22 | 分类号: | C30B29/22;C30B23/02;C30B33/02 |
代理公司: | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人: | 甘茂 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: |
本发明属于超导性薄膜材料技术领域,提供一种具有超导特性的无限层型镍酸盐薄膜的制备方法,用以解决现有技术薄膜沉积速度慢、有裂痕、薄膜易脱落及操作困难等问题。本发明首先制备镍酸盐靶材以匹配脉冲激光沉积法;然后通过脉冲激光沉积法在SrTiO |
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搜索关键词: | 一种 具有 超导 特性 无限 层型镍酸盐 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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