[发明专利]一种具有超导特性的无限层型镍酸盐薄膜的制备方法有效

专利信息
申请号: 202110759951.7 申请日: 2021-07-06
公开(公告)号: CN113481602B 公开(公告)日: 2023-09-22
发明(设计)人: 乔梁;丁翔;徐明辉;冷华倩 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: C30B29/22 分类号: C30B29/22;C30B23/02;C30B33/02
代理公司: 电子科技大学专利中心 51203 代理人: 甘茂
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明属于超导性薄膜材料技术领域,提供一种具有超导特性的无限层型镍酸盐薄膜的制备方法,用以解决现有技术薄膜沉积速度慢、有裂痕、薄膜易脱落及操作困难等问题。本发明首先制备镍酸盐靶材以匹配脉冲激光沉积法;然后通过脉冲激光沉积法在SrTiO3衬底上生长单晶钙钛矿型镍酸盐(Nd0.8Sr0.2NiO3)薄膜,操作简单,所生长的薄膜与靶材成分高度一致,薄膜内部钙钛矿型镍酸盐各元素分布均匀,薄膜表面更加平整且厚度均匀,结合紧密,使用性能更好;最后经过退火还原后得到具有超导特性的无限层型镍酸盐(Nd0.8Sr0.2NiO2)薄膜。综上,本发明操作简单、制备成本低、具有良好的重复性,且制备的薄膜致密性好、稳定性高、附着力强、生长速度快。
搜索关键词: 一种 具有 超导 特性 无限 层型镍酸盐 薄膜 制备 方法
【主权项】:
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