[发明专利]一种面向TSV的可偏心式旋涂一体化装置在审
| 申请号： | 202110760044.4 | 申请日： | 2021-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN113560122A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 丁英涛;任安润;陈志铭;苏育文 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05C13/02;B05C9/14;B05C15/00;B05C21/00;B05C11/10;H01L21/768 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种面向TSV的可偏心式旋涂一体化装置，该旋涂一体化装置在真空密封箱内部设置有夹层；偏心式旋涂装置包括可偏心式转台和至少一个可插拔式托盘；可偏心式转台能够绕竖直轴线旋转地支撑于真空密封箱的底部；可插拔式托盘卡接于可偏心式转台的顶部，并且能够相对可偏心式转台偏心设置；可调节式滴胶管位于可偏心式转台的顶部；防护装置置于夹层顶部，并遮挡在可偏心式转台的周围；传送装置位于夹层内；加热装置与传送装置一一对应，并位于传送装置的底部。上述旋涂一体化装置能够在同一个真空密封箱内完成不同工艺步骤，无需对样片进行来回转移，大大降低了工艺复杂度，缩短了工艺时间，避免了样品的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 面向 tsv 偏心 式旋涂 一体化 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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