[发明专利]导光束端面的缺陷检测装置及其检测方法在审
| 申请号： | 202110760260.9 | 申请日： | 2021-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN113533366A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 淳秋垒 | 申请（专利权）人： | 常州联影智融医疗科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 陈红桥 |
| 地址： | 213164 江苏省常州市武*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种导光束端面的缺陷检测装置及其检测方法，所述装置包括：设置光学平台上的短相干光源模块、显微干涉模块和光纤端口，其中，短相干光源模块用于产生一对正交、线偏振并具有相位延迟的短相干光源，短相干光源从光纤端口出射进入显微干涉模块，显微干涉模块对短相干光源进行分光、合束后获取携带导光束端面信息的干涉图，以根据干涉图和导光束端面信息对导光束端面进行缺陷检测。该装置采用短相干光源模块和显微干涉模块相配合，且干涉光路与成像光路相分离，可在成像光路中添加偏振光学元件，从而可以使成像光路不会受影响，不仅可以实现导光束端面的缺陷的实时测量，且检测效率更高，精度达到波长量级。 | ||
| 搜索关键词： | 光束 端面 缺陷 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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