[发明专利]抛光液输送装置在审
| 申请号： | 202110760628.1 | 申请日： | 2021-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN113290507A | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 潘峰;赵永进;王文丽;陈威;薛书亮;张博 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 林之权 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及精密抛光技术领域，尤其是涉及一种抛光液输送装置。所述抛光液输送装置，包括：供液组件、输送管道、匀液器、抛光台以及设置在所述抛光台上的抛光垫；所述匀液器包括自转驱动件、与所述自转驱动件传动连接的基体以及与所述基体连接的多个分流管道组；所述输送管道的一端与所述供液组件连通；所述自转驱动件驱动所述基体自转，沿远离所述基体的自转中心轴的径向，多个所述分流管道组间隔设置，所述分流管道组包括多个沿同一圆周方向间隔设置的分流管道；所述基体上设有与所述输送管道的另一端连通的接液腔，所述分流管道的一端与所述接液腔连通，所述分流管道的另一端用于向所述抛光垫输送抛光液。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 输送 装置 | ||
【主权项】：
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