[发明专利]一种柔性激光剥蚀池及工作方法在审

专利信息
申请号: 202110762669.4 申请日: 2021-07-06
公开(公告)号: CN113340979A 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 周长祥;张晨西;徐珺;牛志力;迟乃杰;郭广军;韩代成 申请(专利权)人: 山东省地质科学研究院
主分类号: G01N27/626 分类号: G01N27/626
代理公司: 济南舜科知识产权代理事务所(普通合伙) 37274 代理人: 徐娟
地址: 250014 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种柔性激光剥蚀池及工作方法,包括激光系统、柔性剥蚀池和样品台座,柔性剥蚀池设有TPR罩壳,TPR罩壳顶部连接上支撑板,TPR罩壳的下部外周连接有下固定柔性环,上支撑板和下固定柔性环之间连接有若干全丝螺杆,全丝螺杆通过固定螺母调节TPR罩壳底部的高度,TPR罩壳底部贴附密封到样品表面,TPR罩壳和样品之间形成密闭腔体,样品检测部位成为柔性剥蚀池的底座;样品放置到样品台座设有的样品托台上,样品托台的两侧设有夹板,样品托台底部通过转盘连接旋转电机,旋转电机底部连接升降气缸,控制样品托台的旋转和升降;本发明将所测样品某点所在的样品变成激光剥蚀池密闭腔体的基底,实现对样品进行多点定位分析。
搜索关键词: 一种 柔性 激光 剥蚀 工作 方法
【主权项】:
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