[发明专利]一种超薄薄膜力学性能测量装置和力学性能测量方法在审
| 申请号： | 202110763843.7 | 申请日： | 2021-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN113484155A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 朱方华;王宇光;徐嘉靖;李娃;张伟;晏良宏 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01N3/12 | 分类号： | G01N3/12;G01N3/06;G01N3/04 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人： | 贾晓燕 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超薄薄膜力学性能测量装置和力学性能测量方法，包括：操作箱，其内部设置有减震平台；精密二维移动平台，精密可控升降机构，精密可控升降机构固定连接有转接杆，转接杆连接有视觉定位模块和固定底座，固定底座的下端连接有压头；固定支架上固定设置有视觉辅助模块和湿度传感器；XY平移台，其上固定设置有Z轴平移台，Z轴平移台镶嵌有分析天平，分析天平上设置有薄膜工装；减震平台上设置有分子筛干燥柱和加湿器。本发明解决了薄膜夹持难的问题，排除了基底的影响，能控制湿度通过薄膜的受力分析获得不同湿度环境下薄膜的应力应变曲线以及改变加载速度获得薄膜的松弛性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超薄 薄膜 力学性能 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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