[发明专利]一种红外探测器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110764262.5 申请日: 2021-07-06
公开(公告)号: CN113488558B 公开(公告)日: 2022-04-29
发明(设计)人: 郝宏玥;牛智川;徐应强;王国伟;蒋洞微;吴东海 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: H01L31/101 分类号: H01L31/101;H01L31/18;H01L27/146
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 鄢功军
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种红外探测器及其制备方法,属于探测器技术领域,该探测器包括:衬底,所述衬底包括光子晶体阵列,所述光子晶体阵列位于所述衬底的底部,所述光子晶体阵列包括n组四色探测单元,一组所述四色探测单元包括四个不同波段的光子晶体组,每个所述光子晶体组包括多个相同波段的光子晶体;外延层,在所述衬底表面外延得到,所述外延层包括焦平面阵列台面,所述焦平面阵列台面位于所述外延层的顶部,所述焦平面阵列台面的凸出部分为像元;所述光子晶体阵列与所述焦平面阵列台面相对设置,其中所述光子晶体组与所述像元相对设置;其中,n为大于或等于1的整数。
搜索关键词: 一种 红外探测器 及其 制备 方法
【主权项】:
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