[发明专利]一种红外探测器及其制备方法有效
申请号: | 202110764262.5 | 申请日: | 2021-07-06 |
公开(公告)号: | CN113488558B | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 郝宏玥;牛智川;徐应强;王国伟;蒋洞微;吴东海 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01L31/101 | 分类号: | H01L31/101;H01L31/18;H01L27/146 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 鄢功军 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种红外探测器及其制备方法,属于探测器技术领域,该探测器包括:衬底,所述衬底包括光子晶体阵列,所述光子晶体阵列位于所述衬底的底部,所述光子晶体阵列包括n组四色探测单元,一组所述四色探测单元包括四个不同波段的光子晶体组,每个所述光子晶体组包括多个相同波段的光子晶体;外延层,在所述衬底表面外延得到,所述外延层包括焦平面阵列台面,所述焦平面阵列台面位于所述外延层的顶部,所述焦平面阵列台面的凸出部分为像元;所述光子晶体阵列与所述焦平面阵列台面相对设置,其中所述光子晶体组与所述像元相对设置;其中,n为大于或等于1的整数。 | ||
搜索关键词: | 一种 红外探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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