[发明专利]MEMS扬声器在审
| 申请号： | 202110765955.6 | 申请日： | 2021-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN113490120A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 程诗阳;但强;周一苇;李杨 | 申请（专利权）人： | 瑞声开泰科技(武汉)有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R17/00 | 分类号： | H04R17/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430200 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS扬声器，包括：衬底，衬底设有固定部和贯穿固定部的空腔；驱动器，驱动器覆盖空腔并固定于固定部，驱动器具有交替叠设的电极层和压电层，驱动器包括自衬底延伸的主体部以及与主体部连接的自由端，自由端相对于主体部具有更大的运动自由度，驱动器的表面设置有柔性膜，柔性膜沿驱动器的振动方向封闭空腔驱动器的表面设置有柔性膜，柔性膜连接多个自由端并沿驱动器的振动方向封闭空腔。该MEMS扬声器的自由端可以调整驱动器的整体刚度，从而提高了MEMS扬声器的最大声压输出。 | ||
| 搜索关键词： | mems 扬声器 | ||
【主权项】：
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