[发明专利]一种超高灵敏度声表面波湿度传感器有效
| 申请号： | 202110766441.2 | 申请日： | 2021-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN113219050B | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 周剑;吴建辉;段辉高;刘侃;季张斌 | 申请（专利权）人： | 湖南大学 |
| 主分类号： | G01N29/00 | 分类号： | G01N29/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 长沙明新专利代理事务所(普通合伙) 43222 | 代理人： | 叶舟 |
| 地址： | 410000 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种超高灵敏度声表面波湿度传感器，从下至上依次为：压电衬底、叉指电极以及氧化石墨烯‑ZnO纳米线‑石墨烯量子点复合结构敏感层。本发明的有益效果如下：高灵敏、易于检测以及工艺简单，在相对湿度区间为45%‑50%之间达到了148.61 kHz/%RH的超高灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 灵敏度 表面波 湿度 传感器 | ||
【主权项】：
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