[发明专利]用于工作台系统的载物台在审
| 申请号： | 202110766480.2 | 申请日： | 2017-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN113485074A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | S·M·J·詹森斯;B·D·肖尔滕;S·N·L·唐德斯;T·范达姆;P·奥韦尔谢伊;T·M·斯帕恩-布尔克;S·A·特罗普 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于工作台系统的载物台。根据本发明，提供了多个空气轴承装置。每个空气轴承装置包括：空气轴承本体，所述空气轴承本体具有自由表面；主通道，所述主通道延伸穿过所述空气轴承本体并且具有在所述自由表面中的入口开口；辅通道系统，所述辅通道系统延伸穿过所述空气轴承本体并且具有在所述自由表面中的多个排放开口。所述辅通道系统中的流阻高于所述主通道中的流阻。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 工作台 系统 载物台 | ||
【主权项】：
暂无信息
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