[发明专利]一种基于光谱共焦色度测量的位移传感装置及使用方法有效

专利信息
申请号: 202110766751.4 申请日: 2021-07-07
公开(公告)号: CN113483676B 公开(公告)日: 2023-03-14
发明(设计)人: 孙保福;宋素霜 申请(专利权)人: 珠海横琴美加澳光电技术有限公司
主分类号: G01B11/03 分类号: G01B11/03;G01B11/00;G01B11/06;G01B11/24
代理公司: 中山驰鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44706 代理人: 凌信景
地址: 519000 广东省珠海市横琴新*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种基于光谱共焦色度测量的位移传感装置及使用方法,其装置由多光谱光源、第一聚焦透镜组、第一分光镜、Y型光纤、第二分光镜、第一准直透镜组、色散聚焦透镜组、XY位移平台、第一颜色传感器、第二颜色传感器、第三颜色传感器、混色原件组成而构成光学检测系统,其有结构设计合理简洁,便于制作,使用操作容易,无需触测量,测量稳定可靠,以及成本价格经济合理的特点;其方法利用被测面板表面的反射特性,使得被测面板表面在色散聚焦透镜组的色散焦点范围内,第一颜色传感器、第二颜色传感器、第三颜色传感器相应接收特定的颜色信号,再利用计算机则相应处理得到相应的颜色坐标值,进而计算出被测面板的面型或厚度。
搜索关键词: 一种 基于 光谱 色度 测量 位移 传感 装置 使用方法
【主权项】:
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