[发明专利]一种基于光谱共焦色度测量的位移传感装置及使用方法有效
申请号: | 202110766751.4 | 申请日: | 2021-07-07 |
公开(公告)号: | CN113483676B | 公开(公告)日: | 2023-03-14 |
发明(设计)人: | 孙保福;宋素霜 | 申请(专利权)人: | 珠海横琴美加澳光电技术有限公司 |
主分类号: | G01B11/03 | 分类号: | G01B11/03;G01B11/00;G01B11/06;G01B11/24 |
代理公司: | 中山驰鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44706 | 代理人: | 凌信景 |
地址: | 519000 广东省珠海市横琴新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于光谱共焦色度测量的位移传感装置及使用方法,其装置由多光谱光源、第一聚焦透镜组、第一分光镜、Y型光纤、第二分光镜、第一准直透镜组、色散聚焦透镜组、XY位移平台、第一颜色传感器、第二颜色传感器、第三颜色传感器、混色原件组成而构成光学检测系统,其有结构设计合理简洁,便于制作,使用操作容易,无需触测量,测量稳定可靠,以及成本价格经济合理的特点;其方法利用被测面板表面的反射特性,使得被测面板表面在色散聚焦透镜组的色散焦点范围内,第一颜色传感器、第二颜色传感器、第三颜色传感器相应接收特定的颜色信号,再利用计算机则相应处理得到相应的颜色坐标值,进而计算出被测面板的面型或厚度。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 光谱 色度 测量 位移 传感 装置 使用方法 | ||
【主权项】:
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