[发明专利]故障定位方法和故障定位装置在审
申请号: | 202110767042.8 | 申请日: | 2021-07-07 |
公开(公告)号: | CN113466740A | 公开(公告)日: | 2021-10-01 |
发明(设计)人: | 王君兆;黄伟 | 申请(专利权)人: | 深圳市美信咨询有限公司 |
主分类号: | G01R31/52 | 分类号: | G01R31/52;G01J5/10;G01N21/88 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 王闯 |
地址: | 518108 广东省深圳市宝安区石*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请提供一种故障定位方法和故障定位装置,涉及半导体领域。故障定位方法:利用故障IC载板的版图和阻抗测试结果预判疑似故障区域,然后对疑似故障区域进行研磨处理;将研磨处理后的故障IC载板通电,对通电的故障IC载板进行热成像,获得温度异常区域,温度异常区域为漏电故障位置。故障定位装置,包括阻抗检测模块、研磨模块、供电模块和红外成像模块,阻抗检测模块用于检测故障IC载板的阻抗,研磨模块用于对故障IC载板的疑似故障区域进行研磨处理,供电模块用于对研磨处理后的故障IC载板通电,红外成像模块用于对通电的故障IC载板进行热成像。本申请提供的故障定位方法和故障定位装置,定位精准、成功率高、耗时短。 | ||
搜索关键词: | 故障 定位 方法 装置 | ||
【主权项】:
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