[发明专利]光栅剪切干涉投影物镜波像差检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 202110767175.5 | 申请日： | 2021-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN113639629B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 卢云君;唐锋;王向朝;李鹏;刘洋;曹译莎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02015 | 分类号： | G01B9/02015;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 光栅剪切干涉投影物镜波像差检测装置及检测方法，装置包含：光源及照明系统、被测投影物镜、物面衍射光栅版、第一三维位移台、像面衍射光栅版、第二三维位移台、二维光电传感器和计算处理单元。物面衍射光栅版和像面衍射光栅版分别置于待测投影物镜的物面和像面。物面衍射光栅版和像面衍射光栅版上制作有两套小周期(对应的s1和s2剪切率均大于等于12.5％)的物面光栅和光栅像面，两套光栅方向不同、测量得到两组不同剪切方向的差分波前，采用组合剪切波前重建算法，可精确重建待测投影物镜的波像差。该方法由于采用了小周期的光栅，简化了干涉场，减少了相移步数，同时采用组合剪切波前重建算法，既提高了波像差测量精度，又提高了波像差检测速度。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 剪切 干涉 投影 物镜 波像差 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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