[发明专利]可移动的边缘环设计在审
| 申请号： | 202110768609.3 | 申请日： | 2017-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN113707530A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 希兰·拉吉塔·拉斯那辛赫;乔恩·麦克切斯尼 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/683;H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种边缘环被配置为在衬底处理系统中经由一个或多个升降销相对于衬底支撑件升高和降低。所述边缘环还被配置为在所述边缘环的调整过程中与从衬底支撑件的底部环和/或中部环向上延伸的引导特征对接。所述边缘环包括：上表面；环形内径；环形外径；下表面；以及环形凹槽，所述环形凹槽被布置在所述边缘环的所述下表面中，以与所述引导特征对接。所述环形凹槽的壁是基本竖直的。 | ||
| 搜索关键词： | 移动 边缘 设计 | ||
【主权项】：
暂无信息
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