[发明专利]光纤法珀压力传感器及其敏感单元的批量化制备方法在审
| 申请号： | 202110769704.5 | 申请日： | 2021-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN113340492A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 贾平岗;熊继军;李加顺;房国成;刘佳;安国文;梁庭 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L11/02 |
| 代理公司： | 深圳舍穆专利代理事务所(特殊普通合伙) 44398 | 代理人： | 黄贤炬 |
| 地址： | 030000*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本公开描述一种光纤法珀压力传感器的敏感单元的批量化制备方法，包括以下步骤：准备第一石英片和第二石英片，对第一石英片的上表面进行抛光，对第二石英片的上表面进行抛光；在第一石英片的上表面制作多个凹槽；在第一石英片的下表面，在与各个凹槽相应的位置制作与该凹槽共轴且与该凹槽连通的通孔；将第二石英片的上表面以覆盖多个凹槽的方式与第一石英片的上表面结合，形成层叠体；并且对层叠体的多个凹槽进行切割以获得多个敏感单元。根据本公开，能够提高光纤法珀压力传感器的敏感单元的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤 压力传感器 及其 敏感 单元 批量 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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