[发明专利]阵列基板及制作方法、显示面板有效
申请号: | 202110770938.1 | 申请日: | 2021-07-07 |
公开(公告)号: | CN113589612B | 公开(公告)日: | 2023-07-25 |
发明(设计)人: | 钟德镇;余嘉洺;房耸 | 申请(专利权)人: | 昆山龙腾光电股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1368 | 分类号: | G02F1/1368;G02F1/1362;G02F1/1343 |
代理公司: | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人: | 蔡光仟 |
地址: | 215301 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种阵列基板及制作方法、显示面板,该阵列基板包括:基底;设于基底上的扫描线和栅极;覆盖扫描线和栅极的第一绝缘层;设于第一绝缘层上侧的第一透明金属氧化物层,第一透明金属氧化物层包括源极和漏极;设于第一绝缘层上侧的第二金属层,第二金属层包括数据线;设于源极和漏极上侧的半导体层,半导体层包括连接源极和漏极的有源层;设于第一绝缘层上侧的像素电极。通过将源极和漏极采用透明金属氧化物层制成,使得源极和漏极与有源层之间的势能差减小,容易形成欧姆接触,提高TFT处电子迁移率。再搭配将有源层设于源极和漏极的上侧,在蚀刻形成源极和漏极时,避免蚀刻到有源层,防止有源层受到损伤,保证有源层具有较好的性能。 | ||
搜索关键词: | 阵列 制作方法 显示 面板 | ||
【主权项】:
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