[发明专利]光谱扫描共焦单次曝光数字全息测量系统及测量方法有效
| 申请号： | 202110772728.6 | 申请日： | 2021-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN113418470B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 刘丙才;钱晓彤;田爱玲;张英鸽;王红军;朱学亮;岳鑫 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明为一种光谱扫描共焦单次曝光数字全息测量系统及测量方法，其克服了现有技术中存在的针对待测物体的上、下表面及内部分层的微观结构，无法实现三维结构的快速测量，实现透明物体各分层界面微观形貌的高精度、非接触、同步三维形貌测量。本发明包括测量系统本体，测量系统本体包括依次设置的多光谱光源、显微物镜、透镜、分光镜一、聚焦色散透镜和待测物体，分光镜一后方设置有分光镜二，分光镜二前方依次设置有消色差显微物镜和光纤光谱仪，分光镜二后方设置有平面平晶，平面平晶前方依次设置有会聚透镜和滤波器，滤波器设置在平面平晶前表面反射光的会聚焦点处，滤波器前方设置有图像传感器，光纤光谱仪和图像传感器分别与计算机连接。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱 扫描 共焦单次 曝光 数字 全息 测量 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
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