[发明专利]一种飞秒激光加工图案化光致形变交联液晶高分子构件的装置及方法有效
| 申请号： | 202110772813.2 | 申请日： | 2021-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN113523596B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 仇旻;王勇;李云龙;吕久安;耿娇;刘峰江;许犁野;石理平 | 申请（专利权）人： | 西湖大学 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/402;B23K26/064;B23K26/08 |
| 代理公司： | 杭州知闲专利代理事务所(特殊普通合伙) 33315 | 代理人： | 黄燕 |
| 地址： | 310024 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种飞秒激光加工图案化光致形变交联液晶高分子构件的装置及方法，包括：飞秒激光器以及对待加工交联液晶高分子薄膜实现水平固定的夹持装置以及实现激光图案化路径扫描的三维定位机构；还包括沿光路方向依次设置在飞秒激光器与待加工交联液晶高分子薄膜之间的快门元件、光束调节元件、功率调节元件、分束元件、扩束元件、光路导向调节系统、衍射光学元件和聚焦元件。本发明方法具有非侵入性、加工灵活性高等特点，制备的光致形变交联液晶高分子构件均匀性好、精度高、热影响区小，在微纳机器人驱动、微执行器及微流道阀门控制等领域具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 加工 图案 化光致 形变 交联 液晶 高分子 构件 装置 方法 | ||
【主权项】：
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