[发明专利]一种用于使用碎硅料同时拉制多根硅芯的冷却屏在审
申请号: | 202110773851.X | 申请日: | 2021-07-08 |
公开(公告)号: | CN113481590A | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 牛伟 | 申请(专利权)人: | 牛伟 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B28/10;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 471000 河南省洛阳市*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种用于使用碎硅料同时拉制多根硅芯的冷却屏,涉及人工晶体制备领域,本发明通过在空腔盘(8)上设置多个拉制孔(10),然后在空腔盘上设置冷却屏主体(4),由空腔盘上的腔体与冷却屏主体上的腔体形成冷却介质通路,通过冷却介质对空腔盘底面以上的空间形成低温区,即形成下高上低的温度梯度,同时还可以实现降低空腔盘底面熔融硅液的温度,增加硅液的粘稠度,利于硅液跟随籽晶结晶,最主要的是还可以对硅芯进行冷却,进而提高硅芯的拉制速度,本发明在提高硅芯拉制速度的同时,还实现了多根硅芯的同时拉制等,本发明用于碎硅料同时拉制多根硅芯的装置时,有效的避免了碎硅料的资源浪费等。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 使用 碎硅料 同时 拉制 多根硅芯 冷却 | ||
【主权项】:
暂无信息
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