[发明专利]一种测量MOCVD行星式托盘卫星盘转速方法及装置在审
| 申请号： | 202110775866.X | 申请日： | 2021-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN113533770A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 黄文勇;马铁中;颜华;倪旭东 | 申请（专利权）人： | 南昌昂坤半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01P3/36 | 分类号： | G01P3/36;C23C16/52 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 330096 江西省南昌市高新技术产*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测量MOCVD行星式托盘卫星盘转速方法及装置，通过MOCVD设备上的激光测量探头并发出一束激光；该激光照射到MOCVD设备的行星式托盘上，随着行星式托盘旋转，也会照射到卫星盘上以及卫星盘上的晶圆片；反射回的激光经分光后转换成电信号；对电信号在2个trigger脉冲信号的时间内以固定频率f采样，得出每次采样行星式托盘转过的角度Δα；根据角度Δα，计算晶圆片边缘进入和处测量点时的自转角度值ф0、ф1；通过计算出ф0和ф1角的变化即可得出卫星盘的自转速度。本发明适用于卫星盘转速大于行星式托盘转速，并且卫星盘上晶圆片数大于等于2的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 mocvd 行星 托盘 卫星 转速 方法 装置 | ||
【主权项】：
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