[发明专利]一种基于冗余金属的电磁防护方法在审
| 申请号： | 202110776258.0 | 申请日： | 2021-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN113506791A | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 蒋文超;商振;吴美琪 | 申请（专利权）人： | 世芯电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/552 | 分类号： | H01L23/552 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 曹慧萍 |
| 地址： | 200030 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于冗余金属的电磁防护方法，其结构设计简单合理，不仅可降低芯片结构复杂度，而且可降低制造成本，将该方法应用于半导体芯片中，芯片包括晶圆、沉积于晶圆的若干金属层、冗余金属层，金属层包括信号金属层，信号金属层用于信号传输，信号金属层周围的冗余金属层接地后形成若干屏蔽墙，所述屏蔽墙包括至少一层所述冗余金属层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 冗余 金属 电磁 防护 方法 | ||
【主权项】：
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