[发明专利]管式PECVD镀膜专用石墨舟

摘要

本发明给出了一种管式PECVD镀膜专用石墨舟，包括依次平行布置的若干石墨舟片，所述石墨舟片上开有若干镂空区域，若干镂空区域依次间隔布置，所述石墨舟片对应镂空区域位置周围设有若干卡点；所述镂空区域覆盖有石墨网。石墨网代替原本石墨舟片的镂空区域，使得镀膜时均匀放电，硅片镀膜后四周不会有色差，提升镀膜质量。相比现有技术，石墨舟片上依旧可以开有镂空区域，由于只在镂空区域上增设石墨网，而且镂空区域延伸至对应卡点位置，并没有增加石墨舟的整体质量，但是克服了原本石墨舟镀膜不均匀的问题。