[发明专利]一种偏轴棱镜色散型高光谱成像仪的高精度快速装调方法有效

专利信息
申请号: 202110778197.1 申请日: 2021-07-09
公开(公告)号: CN113588082B 公开(公告)日: 2022-05-20
发明(设计)人: 贾昕胤;李立波;沈重;杨莹;王飞橙;张兆会;李思远 申请(专利权)人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
主分类号: G01J3/28 分类号: G01J3/28;G01J3/02
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人: 郑丽红
地址: 710119 陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明提供一种偏轴棱镜色散型高光谱成像仪的高精度快速装调方法,解决现有偏轴棱镜色散型高光谱成像仪存在装调设备复杂、装调难度大以及装调时间长的问题。该方法包括以下步骤:步骤一、装调基准偏轴球面镜;步骤二、对其他偏轴球面镜进行装调;步骤三、获取各偏轴球面镜球面的球心坐标;步骤四、固定各偏轴球面镜;步骤五、完成系统的装调。本发明装调方法通过三坐标测量仪与点源显微镜互相配合,可实现各偏轴球面镜的六自由度调整,进而可快速高精度的实现偏轴棱镜色散型光谱仪的系统装调。
搜索关键词: 一种 棱镜 色散 光谱 成像 高精度 快速 方法
【主权项】:
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