[发明专利]一种偏轴棱镜色散型高光谱成像仪的高精度快速装调方法有效
申请号: | 202110778197.1 | 申请日: | 2021-07-09 |
公开(公告)号: | CN113588082B | 公开(公告)日: | 2022-05-20 |
发明(设计)人: | 贾昕胤;李立波;沈重;杨莹;王飞橙;张兆会;李思远 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01J3/28 | 分类号: | G01J3/28;G01J3/02 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 郑丽红 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明提供一种偏轴棱镜色散型高光谱成像仪的高精度快速装调方法,解决现有偏轴棱镜色散型高光谱成像仪存在装调设备复杂、装调难度大以及装调时间长的问题。该方法包括以下步骤:步骤一、装调基准偏轴球面镜;步骤二、对其他偏轴球面镜进行装调;步骤三、获取各偏轴球面镜球面的球心坐标;步骤四、固定各偏轴球面镜;步骤五、完成系统的装调。本发明装调方法通过三坐标测量仪与点源显微镜互相配合,可实现各偏轴球面镜的六自由度调整,进而可快速高精度的实现偏轴棱镜色散型光谱仪的系统装调。 | ||
搜索关键词: | 一种 棱镜 色散 光谱 成像 高精度 快速 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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