[发明专利]一种具有角度漂移检测的激光三角位移测量装置及方法在审
申请号: | 202110778483.8 | 申请日: | 2021-07-09 |
公开(公告)号: | CN113608231A | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
发明(设计)人: | 刘钧;居冰峰;戴霖;张文浩;王嘉琪 | 申请(专利权)人: | 苏州创视智能技术有限公司 |
主分类号: | G01S17/48 | 分类号: | G01S17/48;G01S7/481 |
代理公司: | 北京汇智胜知识产权代理事务所(普通合伙) 11346 | 代理人: | 魏秀莉 |
地址: | 215000 江苏省苏州市吴中区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明是一种具有角度漂移检测的激光三角位移测量装置及方法,该装置包括激光二极管、准直镜组、焦距调整镜组、分束镜、位移测量感光元件、角漂测量感光元件、底板温度传感器和驱动处理电路;所述分束镜、焦距调整镜组、角漂测量感光元件三者实现对发射光角度漂移的测量,解决了单纯通过温度系数补偿难以消除角漂干扰的问题,结合温度传感器读数和温度系数的标定,可有效抑制传感器的温漂和长期工作中由于发射镜组与光源的相对位置变化造成的测量误差。该装置可广泛用于需要在宽工作温度下保持高精度的非接触测量场合。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 角度 漂移 检测 激光 三角 位移 测量 装置 方法 | ||
【主权项】:
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