[发明专利]基于转镜的PERC电池片高速激光开槽方法、装置及PERC电池片在审
| 申请号： | 202110780603.8 | 申请日： | 2021-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN113523577A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 刘士鹏;李峰西;邢振宏;李建美;豪斯特·埃克斯纳 | 申请（专利权）人： | 济南森峰激光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/064;B23K26/082;H01L31/0224;H01L31/068;H01L31/18 |
| 代理公司： | 济南舜昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 37249 | 代理人： | 曹媛媛 |
| 地址： | 250100 山东省济南市高*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明为基于转镜的PERC电池片高速激光开槽方法、装置及PERC电池片。其技术方案包括：设定激光加工参数；启动激光发生系统，投射出激光束；激光束射入高速转镜扫描系统，高速转镜扫描系统投射出对二维平面的扫描激光；扫描激光经过f‑θ聚焦透镜组对PERC电池片进行二维平面扫描；扫描激光对PERC电池片进行圆孔开槽；完成加工。本发明的有益效果为，利用转镜高速扫描的优势配合振镜实现对PERC电池片开槽区域的高速二维平面整体扫描并开槽，大大提高了PERC电池片的开槽速度，提高了生产效率；同时，采用本方法制成的PERC电池片开槽质量更好，具有更高的机械载荷性能和光电转化效率，并优化圆孔槽的排列形式，增加圆孔槽的密度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 perc 电池 高速 激光 开槽 方法 装置 | ||
【主权项】：
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