[发明专利]气体传感器的制造方法、声表面波微离心装置及气体传感器在审
| 申请号： | 202110781960.6 | 申请日： | 2021-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN113376215A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 黄秀松;陈泽荣;肖健建;罗邦雄;赵鹤玲;曾小红 | 申请（专利权）人： | 惠雨恩科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;B05D7/24;B05D1/00 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 曾敬 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区前海深港合作区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种气体传感器的制造方法、声表面波微离心装置及气体传感器。其中，该气体传感器的制造方法包括提供一声表面波微离心装置，所述声表面波微离心装置包括一微型反应池，所述微型反应池中包括含有多层MXene材料的溶液；对所述多层MXene材料进行剥离，得到单层MXene材料；提供一半导体气体传感组件，并将所述半导体气体传感组件的指条敏感区反扣于所述微型反应池上；利用声学流旋涂法将所述单层MXene材料涂覆于所述半导体气体传感组件的指条敏感区，得到一气体传感器。经本方案制造的气体传感器可以有效提高对硫化氢检测的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 传感器 制造 方法 表面波 离心 装置 | ||
【主权项】：
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