[发明专利]一种基于活动掩膜板的金属电加热丝电解刻蚀方法有效
| 申请号： | 202110781991.1 | 申请日： | 2021-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN113430636B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 刘壮;高长水;刘鑫;于晓宇 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C25F3/14 | 分类号： | C25F3/14 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 瞿网兰 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种基于活动掩膜板的金属电加热丝电解刻蚀方法，其特征是：根据金属电加热丝形状，设计制作第一掩膜板和第二掩膜板，第一掩膜板用于刻蚀电加热丝内部区域，第二掩膜板用于刻蚀电加热丝外部区域；同时制作平板式金属材质阴极；在硅胶薄膜上贴覆金属箔片，形成待刻蚀电加热薄膜；将第一掩膜板压紧待刻蚀电加热薄膜，对加热薄膜上的电加热丝进行刻蚀；然后采用第二掩模版替换掉第一掩模版，再次对电加热丝进行刻蚀，最终获得所需电加热丝线路。本发明环保性好，掩膜板可重复使用，且无需对每一个金属箔片贴覆感光胶和曝光，工艺简单，能够有效提高生产效率、降低成本、减少环境污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 活动 掩膜板 金属 加热 电解 刻蚀 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京航空航天大学，未经南京航空航天大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110781991.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
