[发明专利]一种机械手及其获取传输晶圆的方法在审
| 申请号： | 202110782710.4 | 申请日： | 2021-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN113478463A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 尹明清 | 申请（专利权）人： | 深圳市星国华先进装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/00 | 分类号： | B25J9/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 合肥国晟知识产权代理事务所(普通合伙) 34204 | 代理人： | 戈余丽 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区观*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体设备领域，公开了一种机械手及其获取传输晶圆的方法，晶圆在运输通道内进行运输时，通过水平导轨与第一红外发射端等设置，将晶圆片推至既定位置处，便于后续机械爪直接取出晶圆片，从而避免晶圆在运输通道内传输时对其实时检测相对位置，同时，避免通过调整机械爪的位置以适应不同偏移程度的晶圆进行抓取，费时费力且降低运输效率，机械爪转运晶圆过程中，若夹紧组件失效，导致晶圆发生位置偏移，通过第二红外发射端等设置，在机械爪运转晶圆的过程中，实时对晶圆的相对位置进行检测并实时调整，避免在发生意外偏移后停止机械爪的操作，耽误时间降低机械爪的运转利率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械手 及其 获取 传输 方法 | ||
【主权项】：
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