[发明专利]基于光栅激光超声声谱的薄膜涂层厚度无损测量方法有效
| 申请号： | 202110785015.3 | 申请日： | 2021-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN113587866B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 裴翠祥;钱程;寇兴 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B17/02 | 分类号： | G01B17/02 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 何会侠 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于光栅激光超声声谱的薄膜涂层厚度无损测量方法，强脉冲激光束经过光学掩模板或微阵列透镜照射到被测涂层表面形成周期分布的微小栅状激光光斑，在被测区域激发固定波长的超声表面波，由于超声表面波在多层介质中的频散特性，涂层厚度的变化会引起所激发表面波频率的变化，采用激光超声检测单元在激励位置附近接收所产生的超声表面波信号，对被接收的信号进行傅里叶变换获取其中心频率，最后根据超声表面波中心频率与涂层厚度的单调关系实现涂层厚度的无损测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光栅 激光 超声 声谱 薄膜 涂层 厚度 无损 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学，未经西安交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110785015.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
