[发明专利]一种TaN-稀土复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 202110785360.7 | 申请日： | 2021-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN113502452B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 王楚峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市阿尔法材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;C23C14/48;C23C14/58 |
| 代理公司： | 长沙智勤知识产权代理事务所(普通合伙) 43254 | 代理人： | 曾芳琴 |
| 地址： | 518054 广东省深圳市南山区粤海街道高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种TaN‑稀土复合涂层及其制备方法。为了提高现有的TaN涂层的耐腐蚀性能，本发明创造性的通过离子注入法向TaN涂层中掺入稀土元素镧，离子注入处理后，在TaN涂层的表层或近表层区域形成了耐腐蚀性能优异的TaN‑稀土复合涂层。进一步研究后发现，稀土元素的注入量应控制在合理的范围，因为过多的稀土元素不仅对耐腐蚀性能的提高没有裨益，反而会降低TaN涂层的生物相容性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tan 稀土 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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