[发明专利]一种晶圆级封装结构及其封装方法在审
申请号: | 202110786682.3 | 申请日: | 2021-07-12 |
公开(公告)号: | CN113540005A | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 马晓建;刘卫东;高瑞锋;张婕;张兵;张红兵;杨欢;苏亚兰 | 申请(专利权)人: | 华天科技(西安)有限公司 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01L21/60 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 李红霖 |
地址: | 710018 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种晶圆级封装结构及其封装方法,本发明的晶圆级封装结构中,通过在台阶形转接板贴装到晶圆,晶圆通过键合线连接台阶形转接板,本发明的封装结构能够有效缩短封装流程,台阶形转接板可适用于批量生产,降级封装成本。本发明以单片晶圆为作业单位,转接板贴装,打线键合,填胶,实现简化的晶圆级封装结构。本发明通过台阶形导电转接板,使本身需要减划、贴装、塑封、研磨、扇出线路、切割的晶圆封装工艺,变更为台阶形转接板制作、晶圆级贴装、打线、切割即可实现,降低封装成本,缩减封装流程。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶圆级 封装 结构 及其 方法 | ||
【主权项】:
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