[发明专利]一种光纤与光波导耦合的方法、结构和晶圆测试方法在审
| 申请号： | 202110786812.3 | 申请日： | 2021-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN113568102A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 郑煜;郜飘飘;段吉安 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | G02B6/24 | 分类号： | G02B6/24;G02B6/25;G02B6/36;H01L21/66 |
| 代理公司： | 长沙启昊知识产权代理事务所(普通合伙) 43266 | 代理人： | 谢珍贵 |
| 地址： | 410083 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种光纤与光波导耦合的方法、结构和晶圆测试方法，该方法包括：在晶圆的块Block中制作所需要的波导；在波导的一端刻蚀出槽，其中，所述槽用于在于所述波导成第一预定角度的方向上插入光纤；将待插入所述槽的光纤的端面切割为第二预定角度，并在切割面涂上一层抗反射膜；将切割之后的光纤插入到所述槽中，其中，通过所述光纤的光被所述抗反射膜发射后进入所述波导。通过本申请解决了现有技术中的单模光纤和硅光波导之间的耦合方式在光芯片测试中所存在的问题，从而提高了光纤与硅光波导的耦合效率，降低对准精度及容差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 波导 耦合 方法 结构 测试 | ||
【主权项】：
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