[发明专利]一种高可靠性的终端结构及其制造方法在审
| 申请号： | 202110788246.X | 申请日： | 2021-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN113594227A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 张永利;王新强;王丕龙;刘文 | 申请（专利权）人： | 青岛佳恩半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/78;H01L29/739;H01L21/336;H01L21/331 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 郑艳春 |
| 地址： | 266100 山东省青岛市高*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高可靠性的终端结构及其制造方法，涉及终端结构技术领域。衬底下方设置有漏极、上方设置有n型缓冲区，n型缓冲区内部设置有规律排布的p型阱，p型阱上方设置有栅氧氧化层和多晶层，BODY I区P阱和BODY II区P阱内置n+型源级和p+型短路区，源级金属电极设置在BODY I区P阱和BODY II区P阱上方，栅极金属电极设置在BODY II区P阱和RING I区P阱上方，RING II区浮空金属电极设置在RING II区上方，终端末端金属电极设置在终端末端P阱上方。本发明在漂移区内设置BODY I区、BODY II区、RING I区和RING II区，相互分离，有效降低高温反偏漏电。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可靠性 终端 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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