[发明专利]一种表面等离激元窄带梳状滤波器有效
| 申请号： | 202110788372.5 | 申请日： | 2021-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN113466977B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 赵洪霞;程培红;丁志群 | 申请（专利权）人： | 宁波工程学院 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00 |
| 代理公司： | 宁波奥圣专利代理有限公司 33226 | 代理人： | 周珏 |
| 地址： | 315211 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种表面等离激元窄带梳状滤波器，其包括下层硅膜层、上层石墨烯层、顶层二氧化硅层，下层硅膜层的宽度方向上的中间区域上开设有贯穿其上下表面的单缝，被单缝分成左侧硅膜层和右侧硅膜层，单缝内自下而上依次填充有石墨烯和二氧化硅，形成在下面的石墨烯填充层和在上面的二氧化硅填充层，石墨烯填充层的上表面与二氧化硅填充层的下表面之间不存在空隙，上层石墨烯层贴合设于左侧硅膜层的上表面、二氧化硅填充层的上表面及右侧硅膜层的上表面上，顶层二氧化硅层贴合设于上层石墨烯层的上表面上，且顶层二氧化硅层的宽度方向的中心位置与上层石墨烯层的宽度方向的中心位置对齐；优点是单信道带宽窄，且结构简单，易于片上集成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 离激元 窄带 滤波器 | ||
【主权项】：
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