[发明专利]一种C/TiC/TiN/TiAlN复合涂层的制备装置及其制备方法

摘要

本发明公开了一种C/TiC/TiN/TiAlN复合涂层制备装置及其方法。本发明提出的装置主要包括弧光放电等离子体装置、射频等离子体装置和磁过滤筛选装置三部分，充分组合利用三部分的技术优势，从而达到制备优质涂层的目的。本发明提供的复合涂层的制备方法，包括以下步骤：将固态源进行弧光放电后得到弧光放电等离子体；将气态源进行射频处理后得到射频等离子体；将所述两种等离子体经过磁过滤去除较大颗粒后共沉积在基底表面，从而得到复合涂层。本发明提供的制备方法为制备不同成分的复合涂层提供了新的合成思路，且制备得到的复合涂层材料具有高均匀性，高致密性以及优异的机械性能。