[发明专利]一种用于软X射线谱学测试中的冷却装置在审
| 申请号： | 202110788513.3 | 申请日： | 2021-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN113566448A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 章辉;李小宝;刘志 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | F25B21/02 | 分类号： | F25B21/02;F25B49/00;G01N23/083 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人： | 孙健 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于软X射线谱学测试中的冷却装置，包括冷却模块、散热模块和控制模块，所述冷却模块包括冷却单元和与所述控制模块相连的半导体制冷片，所述半导体制冷片位于所述冷却单元和散热模块之间、且嵌于所述冷却单元中；所述控制模块用于发送制冷信号给所述半导体制冷片，所述半导体制冷片用于根据收到的制冷信号将冷能量通过所述冷却单元传递至样品。本发明能够在真空或近常压(原位)气氛条件下对样品进行冷却，可提供软X射线谱学测试中所需的低温测试条件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 射线 测试 中的 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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