[发明专利]具有非对称金属合金薄膜结构的高温传感器及制作方法在审
| 申请号： | 202110790120.6 | 申请日： | 2021-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN113551794A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 董波 | 申请（专利权）人： | 深圳技术大学 |
| 主分类号： | G01K7/18 | 分类号： | G01K7/18;G01K1/12 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 卢泽明 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种具有非对称金属合金薄膜结构的高温传感器及制作方法，该传感器包括铂金属传感器本体，铂金属传感器本体上涂覆有非对称金属合金薄膜结构，非对称金属合金薄膜结构具有薄膜层以及厚膜层，薄膜层覆盖部分的面积为铂金属传感器本体面积的一半，厚膜层覆盖部分的面积为铂金属传感器本体面积的另一半，薄膜层的厚度为100‑300nm，厚膜层的厚度为50‑100um。本发明的方法应用于上述的传感器。应用本发明可以增强铂金属高温传感器的耐高温特性，并降低其在高温下工作的脆化效应。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 对称 金属 合金 薄膜 结构 高温 传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳技术大学，未经深圳技术大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110790120.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
