[发明专利]用于形成材料图案的设备和方法在审
| 申请号： | 202110790822.4 | 申请日： | 2021-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN113939100A | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | G-P·里加斯 | 申请（专利权）人： | 万佳雷射有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/12 | 分类号： | H05K3/12;B41J3/407;B41J3/44;B41J11/00;B23K26/362;G06F3/041 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 陈良路;臧建明 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了用于形成材料图案的设备和方法。在一种布置中，沉积单元将材料沉积到透明基板的选定部分上。干燥单元干燥由沉积单元沉积的材料。烧结单元烧结由干燥单元干燥的材料。烧蚀单元选择性地去除基板上的材料，以形成材料图案。在基板与沉积单元、干燥单元、烧结单元和烧蚀单元中的每个之间提供相对移动，以允许基板的各部分被沉积单元、干燥单元、烧结单元和烧蚀单元顺次处理。沉积单元、干燥单元、烧结单元和烧蚀单元作为一组旋转，在所述旋转期间，在材料图案的至少两个不同部分的形成之间，沉积单元、干燥单元、烧结单元和烧蚀单元之间的相对空间关系没有任何变化。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 形成 材料 图案 设备 方法 | ||
【主权项】：
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