[发明专利]一种光电子元件智能制造的光刻机

摘要

本发明公开了一种光电子元件智能制造的光刻机，结构包括：控制柜、加工仓、工作台板、托座、晶圆、恒净装置，加工仓内有曝光组件以及机械手，托座固定在机械手上，晶圆放置在托座上，恒净装置环绕设在工作台板的通孔周围，恒净装置由吸附仓、固定座、净尘组件所组成，固定座固定在工作台板的通孔上，吸附仓嵌入工作台板的通孔并固定在固定座的内壁上，净尘组件固定在固定座的顶端，本发明通过活动喷环将气泳环提供的洁净的气体喷出，对晶圆表面以及晶圆上部分区域进行气流冲刷，然后利用负压腔壳内产生负压向内吸气，将晶圆上方的污染物向负压腔壳内吸附到滤网上，保持晶圆表面以及晶圆上部分区域的整洁。