[发明专利]一种基于纳米波纹结构的纳流控芯片的制备方法在审
| 申请号： | 202110791031.3 | 申请日： | 2021-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN113426500A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 耿延泉;李子翰;闫永达 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 李智慧 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于纳米波纹结构的纳流控芯片的制备方法，所述方法包括如下步骤：步骤一、使用AFM在聚碳酸酯薄膜表面进行往复扫描加工，通过控制探针的运动轨迹得到纳米波纹结构；步骤二、以PDMS和固化剂为转印材料，通过PDMS转印得到带有纳米通道阵列的PDMS片；步骤三、采用光刻法在单晶硅基底上加工微通道结构，通过PDMS转印得到带有微通道的PDMS片；步骤四、采用氧等离子体清洗机对带有纳米通道阵列的PDMS片和带有微通道的PDMS片进行键合，得到带有纳米通道阵列的纳流控芯片。本发明的加工方法简单、通道深宽比可控，制备出的带有纳米通道阵列的纳流控芯片具有更高的灵敏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 纳米 波纹 结构 纳流控 芯片 制备 方法 | ||
【主权项】：
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