[发明专利]基于MEMS芯体的液压传导型质量传感器及其制作工艺

摘要

本发明涉及称重传感器技术领域，尤其涉及一种基于MEMS芯体的液压传导型质量传感器及其制作工艺，通过设置形变部、承载部形成的密封腔配合压力MEMS传感器感应液压的变化得到总质量的数据，密封腔的小腔体大面积式设计，能够充分的提高测量灵敏度；其中，在形变部设置有突出于平面的受力点，并且变形板设置为能够将受力点往中心聚拢的收拢结构，使得发生形变过程是先由中心向四周均匀扩散，以形成均匀受力，同时形变部设置有双向的抵持边框和凸块作为双层防过载结构，有效的防止测量过载导致传感器失灵，配合本身的高刚度达到有效的防蠕变效果，具有较强的实用性和推广意义。