[发明专利]一种柔性压力传感器及其制备方法在审
申请号: | 202110794801.X | 申请日: | 2021-07-14 |
公开(公告)号: | CN113340480A | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 熊作平 | 申请(专利权)人: | 苏州能斯达电子科技有限公司 |
主分类号: | G01L1/18 | 分类号: | G01L1/18 |
代理公司: | 常州品益专利代理事务所(普通合伙) 32401 | 代理人: | 侯慧娜 |
地址: | 215123 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明属于压力检测技术领域,具体涉及一种柔性压力传感器及其制备方法,柔性压力传感器包括柔性基底、与柔性基底紧密接触的图案化电极、与图案化电极电连接的信号传输电极、覆盖于图案化电极上的压敏层、以及覆盖于压敏层或信号传输电极上的保护层;制备方法为:S1、选取柔性薄膜或者纺织面料作为柔性基底;S2、制作图案化电极层;S3、制备压敏层;S4、制备第一保护层;S5、制作信号传输电极;S6、制备第二保护层。本发明图案化电极、压敏层和保护层都是直接通过印刷或刻蚀一层层加工而成,省去了贴合加工和封装等工序,且能够有效避免膜材形变,传感器体积轻薄小巧、功耗小、适合多种场合下的应用要求,具有较强的通用性。 | ||
搜索关键词: | 一种 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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